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匯眾達凈化設備專業提供凈化工程

更新時間:2018-08-01點擊次數:1282

匯眾達凈化設備專業提供凈化工程

    在一定空間范圍內,將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在 某一需求范圍內的工程學科。

    凈化工程所特別設計的房間,不論外在空氣前提如何變化,室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能。 控制產品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中出產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。

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亂流式   空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式合用于潔凈室等級1,000-100,000級。 層流式  層流式空氣氣流運動成一平均之直線型,空氣由籠蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式合用于潔凈室等級需定較高的環境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。

    其型式可分為二種:   (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴峻。   (2)垂直層流式:房間天花板*以ULPA過濾器籠蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作職員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。  

復合式:   復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。   (1)潔凈地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%籠蓋使潔凈度等級進步至10級以上,可節省安裝運轉用度。此型式需將功課職員之 工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。   (2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經由的自動出產線包抄并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和功課員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔 凈度,可節省能源,不需人工的自動化出產線為相宜使用。藥品、食物業界及半導體業界均合用。 (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級進步為10~1000級以上,認為出產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

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